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Laserteck
OPTELICS® H1200(WIDE)
3CCD Real Confocal Microscope
「3 line CCD's」
신 개념의 공초점 현미경
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 용도
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 각종 재료의 관찰·계측：
MEMS, NEMS, 나노 프린터, 반도체, 액정 패널 관련 재료 금속재료, 세라믹스 재료,
화학 재료, 고분자 재료, 결정, 생물 시료, 공업 재료 그 외
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특징
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RGB3CCD( 각 2048 x2048 화소)에 의한 1200만 화소의 컨포칼 화상
가변 프레임 기능(Variable Frame Rate)에 의한 최고 속도 120 프레임/sec의 주사 속도
원 클릭 자동 측정 기능으로 간단, 쾌적한 조작성을 실현(3D, 표면 거칠기, etc. )
다층 3D 형상 측정, 표면 거칠기 측정, 막 두께 측정, 패치워크 등 다 기능 소프트웨어
선명 모드로 대조비 차이가 큰 샘플도 관찰 가능
최대 8배까지의 리얼타임 줌 기능 장비
최장 10시간의 장시간 동영상 녹화 재생 기능
전동 Nosepiece, 오토 포커스 표준 장비
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사양
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높이 측정
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측정 재현성 (σ) 0.02μm
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선폭 측정
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측정 재현성(3σ) 0.01μm
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WIDE(OPTION)
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Wave
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파장 선택：
5 파장(파랑：436nm, 청록색 488nm, 초록：546nm,
노랑：577nm, 빨강：630 nm)의 샘플에 적절한 파장
선택이 가능
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Interference
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위상 쉬프트 간섭 측정 기능：
미라우 간섭계에 의해 수직 방향의 측정 분해능 0.1 nm,
측정 시간 2~3초
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DIC
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미분 간섭 관찰：
나노 스케일의 미분 간섭에 의한 샘플 표면의 미세 거칠기의 관찰
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Exceed
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AFM(원자간력 현미경)：
소형 AFM의 일체화에 의해 나노 스케일로부터 밀리 스케일까지
일정한 측정 가능
측정 시야 20μm,
Z측정 재현성 2μm이하
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